1.系統(tǒng)
室內(nèi)的空氣凈化系統(tǒng)可分為水平層流、垂直層流和亂流。選擇氣流形式一則參照慣例，二則取決于房間的工作參數(shù)。
2.潔凈度與換氣次數(shù)
房間的潔凈度取決于單位時(shí)間的換氣次數(shù)，因此慎密考慮房間的工作性質(zhì)、以及生產(chǎn)工藝要求，再?zèng)Q定凈化系統(tǒng)的技術(shù)參數(shù)。
3.結(jié)構(gòu)
為了保證氣流幾乎不受干擾，就必須進(jìn)行結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，必要的謹(jǐn)慎可以防止房間里任何地方的灰塵積累。
4.設(shè)計(jì)方案
要確定設(shè)計(jì)方案，必須先對(duì)房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進(jìn)行認(rèn)真的考慮。發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風(fēng)形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠(yuǎn)離其它車間。
5.材料
作為潔凈室頂棚，墻面和地板的材料必須是不宜破裂、不易沾顆粒，以及幾乎不起塵的材料，另外根據(jù)房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定。
6.壓力和氣流
為了保證房間的潔凈度，必須防止外面污染氣流進(jìn)入室內(nèi)，要達(dá)到這個(gè)目的，房間里必須保持正壓。為了獲得所要求的房間壓力，必須補(bǔ)充適當(dāng)?shù)男迈r空氣。
7.輔助設(shè)備
必要時(shí)還得安置一些輔助設(shè)備：如新風(fēng)口的空氣指示儀，隔斷上的傳遞窗等。這些設(shè)備必須適合房間的要求，并且必須真正了解其功能.
8.人和物的控制
人和物是潔凈室的主要塵源，因此必須充分控制，例如：在進(jìn)入凈化房前，所有的人都要經(jīng)過人凈系統(tǒng)，更換無塵衣，并且要接受凈化系統(tǒng)功能的基本教育。
9.給排水和送風(fēng)裝置及電源
根據(jù)所要運(yùn)行的車間，必須的給排水裝置，送風(fēng)裝置和電源，這些裝置和所涉及的設(shè)備必須易于使用和設(shè)計(jì)，同時(shí)不得有勃于空氣凈化系統(tǒng)。
潔凈室的規(guī)劃 一般性的規(guī)劃重點(diǎn)
潔凈室的整廠規(guī)劃(Turn Key Projects)(如表3-1)，因涉及范圍廣，需建筑、水電、空調(diào)、環(huán)保、防震、制造等各項(xiàng)人才共同規(guī)劃，盡管不少潔凈室規(guī)劃，多需要就于既有的建筑物，然而，為避免失誤應(yīng)盡可能事先確認(rèn)下列事項(xiàng)：
| 1. 潔凈度等級(jí)。 | 2. 室壓之平衡措施。 |
| 3. 溫濕度要求。 | 4. 機(jī)器設(shè)備之必要性。 |
| 5. 確定生產(chǎn)流程。 | 6. 局部排氣之必要性。 |
| 7. 日后擴(kuò)充彈性。 | 8. 足夠維護(hù)保養(yǎng)空間。 |
| 9. 空調(diào)送風(fēng)方式。 | 10. 員工休息區(qū)之安排。 |
| 11. 設(shè)施與動(dòng)力之配置。 | 12. 室內(nèi)凈高與樓板載重。 |
| 13. 設(shè)備空間與管道間。 | 14. 門窗宜少，氣密性要佳。 |
| 15. 靜電、振動(dòng)及噪音。 | 16. 生產(chǎn)線與活動(dòng)線少交叉。 |
| 17. 公害、污染與防災(zāi)。 | 18. 安裝及運(yùn)轉(zhuǎn)成本之衡量。 |
潔凈室的動(dòng)線規(guī)劃
所謂[動(dòng)線]，是指人員、原料之入室路線，與人員與成品的出室路線。規(guī)劃時(shí)，要檢討分析人(車)路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運(yùn)和作業(yè)之流程等，盡量縮短動(dòng)線，并避免交叉，以防止交叉污染(Cross Contamination)。
要點(diǎn)：
1． 作業(yè)者、材料、化學(xué)藥品等動(dòng)線勿集中。
2． 制造裝置之出入，需不對(duì)作業(yè)產(chǎn)生大影響。
3． 潔凈室四周，宜設(shè)緩沖區(qū)(即較差潔凈區(qū))。
工業(yè)潔凈室(ICR)之潔凈度與適用和分類表
| 潔凈度
產(chǎn)業(yè)別 | 潔凈度(≥0.5μm，個(gè)/ft3) |
| 1 | 10 | 100 | 1000 | 10000 | 100000 | |
| LSI制造工程 | | | | | |
| LSI組立檢查工程 | | | | | |
| (矽)單結(jié)晶 | | | | | | | |
| 照像光罩photo mask | | | | |
| 光阻涂膜photoresist | | | | |
| 一般液晶(tn,stn) | | | | | | | |
| 顯示用液晶(tft,mim) | | | | | |
| 投影用液晶(tft) | | | | | |
| 混合(hybrid)IC | | | | | | | |
| 印刷基板材料 | | | | | | |
| 印刷配線板 | | | | | | | |
| 電晶體、二體 | | | | | |
| 精密電子部品 | | | | | | |
| 磁頭 | | | | | | | |
| 磁碟 | | | | | |
| 電腦、磁碟裝置組立 | | | | | | |
| 錄影帶、光碟 | | | | | |
| 照像底片 | | | | | | |
| 光織 | | | | | | | |
| 精密軸承 | | | | | |
| 光學(xué)鏡片 | | | | | | |
| 半導(dǎo)體制造裝置 | | | | | |
| 潔凈管及閥類 | | | | | |
| LSI制造用化學(xué)藥品 | | | | | |
| 精密測(cè)定機(jī)制造 | | | | | | |
| 清洗無壓衣 | | | | | | |
| 印刷、制版 | | | | | | | |
生物潔凈室(BCR)之潔凈度與適用和分類表
潔凈度
產(chǎn)業(yè)別 | 潔凈度(≥0.5μm，個(gè)/ft3) |
| |
| (醫(yī)藥品) | | | | | | |
| 抗生物質(zhì) | | | | | | |
| 注射藥 | | | | | | |
| 血清 | | | | | | |
| 藥劑包裝過程 | | | | | |
| 醫(yī)療用器具 | | | | | |
| (病院) | | | | | | |
| 無菌手術(shù)室 | | | | | | |
| 手術(shù)室 | | | | | |
| 無菌病室 | | | | | | |
| 調(diào)劑室 | | | | | | |
| (食品) | | | | | | |
| 牛乳·乳制品 | | | | | |
| 食肉·食肉加工 | | | | | |
| 煉乳制品 | | | | | | |
| 清酒·酒類 | | | | | | |
| 糕餅·豆腐 | | | | | | |
| 制果·面包 | | | | | |
| (動(dòng)物實(shí)驗(yàn)) | | | | | | |
| 飼養(yǎng)區(qū) | | | | | |
| 隔離區(qū) | | | | | | |
| 其他 | | | | | | |
| 磨茹·菌類培養(yǎng) | | | | | |
| 觀葉植物培養(yǎng) | | | | | |
| 化妝品 | | | | | |
美國(guó)太空署(NASA)之無菌室規(guī)范重點(diǎn)(NHB-5340.2)
| 無菌室(BCR)潔凈等級(jí) | 微粒子 | 微生物 |
| 粒徑 | 累積粒子數(shù)
個(gè)/ft3(個(gè)/L) | 浮游量
個(gè)/ft3(個(gè)/L) | 沈降量
個(gè)/ft2(個(gè)/M2) |
| 100 | ≥0.5 | ≤100(≤3.5) | ≤0.1(0.0035) | 1200(12900) |
| 10000 | ≥0.5 | ≤10000(≤350) | ≤0.5(0.0176) | 6000(64600) |
| ≥0.5 | ≤65(≤2.3) |
| 100000 | ≥0.5 | ≤100000(≤3500) | ≤2.5(0.0884) | 3000(323000) |
| ≥5.0 | ≤700(≤25) |
FS-209E潔凈度等級(jí)(1992年)
| 粒徑大小 | ≥0.1μm | ≥0.2μm | ≥0.3μm | ≥0.5μm | ≥5μm |
| 微粒子數(shù) | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 | 個(gè)/M3 | 個(gè)/ft3 |
| S1制級(jí) | 英制級(jí) | | | | | | | | | | |
| M1 | | 350 | 9.01 | 75.7 | 2.14 | 30.9 | 0.875 | 10.0 | 0.283 | | |
| M1.5 | 1 | 1240 | | 265 | 7.50 | 106 | 3.00 | 35.3 | 1.00 | | |
| M2 | | 3500 | 35.0 | 757 | 21.4 | 309 | 8.75 | 100 | 2.83 | | |
| M2.5 | 10 | 124000 | | 2650 | 75.0 | 1060 | 30.0 | 353 | 10.0 | | |
| M3 | | 35000 | 99.1 | 7570 | 214 | 3090 | 87.5 | 1000 | 28.3 | | |
| M3.5 | 100 | | | 26500 | 750 | 10600 | 300 | 3530 | 100 | | |
| M4 | | | | 75700 | 2140 | 30900 | 875 | 10000 | 283 | | |
| M4.5 | 1000 | | | | | | | 35300 | 1000 | 247 | 7.00 |
| M5 | | | | | | | | 100000 | 2830 | 618 | 17.5 |
| M5.5 | 10000 | | | | | | | 353000 | 10000 | 2470 | 70.0 |
| M6 | | | | | | | | 1000000 | 28300 | 6180 | 170 |
| M6.5 | 100000 | | | | | | | 3530000 | 100000 | 24700 | 700 |
| M7 | | | | | | | | 10000000 | 283000 |
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